1 简介

真(zhen)空泵是(shi)一种(zhong)旋(xuan)转(zhuan)式变容(rong)真(zhen)空泵须(xu)有(you)前级泵配合方可使用(yong)在较宽的(de)(de)压力范围(wei)内有(you)较大的(de)(de)抽(chou)速对被抽(chou)除(chu)气体中含有(you)灰尘和(he)水蒸(zheng)汽不(bu)敏感(gan)广泛用(yong)于冶金、化(hua)工(gong)、食品、电子镀(du)膜等行业。[1]

2 特点

(1)在较宽的(de)压力(li)范围内(nei)有较大的(de)抽速；

(2)转(zhuan)子(zi)具(ju)有良(liang)好的几何(he)对称性，故振动小，运转(zhuan)平(ping)稳。转(zhuan)子(zi)间(jian)及(ji)转(zhuan)子(zi)和(he)壳体间(jian)均有间(jian)隙，不(bu)用润滑，摩擦损失(shi)小，可(ke)大大降(jiang)低驱动功(gong)率(lv)，从而可(ke)实(shi)现较(jiao)高转(zhuan)速(su)；

(3)泵腔内无需用油(you)密封和润滑，可减少油(you)蒸气对真(zhen)空系统的(de)污染(ran)；

(4)泵腔内(nei)无压缩(suo)，无排气阀。结构简(jian)单、紧(jin)凑，对(dui)被(bei)抽(chou)气体中的灰(hui)尘和水蒸汽不敏感；

(5)压(ya)缩比较低，对氢气抽气效果(guo)差；

(6)转子表面(mian)为形状较为复杂的曲线柱面(mian)，加工和检查比较困(kun)难。

3 结构

（1） 泵总体结构型式

真空泵的(de)泵体的(de)布置结构决定了(le)泵的(de)总体结构。

立式结构的(de)进、排气口(kou)水平设置，装配和(he)连接管(guan)路都比较(jiao)方便(bian)。但泵的(de)重心较(jiao)高(gao)，在高(gao)速(su)运转(zhuan)时(shi)稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧式泵(beng)的进气口在上，排(pai)(pai)气口在下。有时(shi)为了真空系统管道安装连接方(fang)便，可将排(pai)(pai)气口从水平方(fang)向(xiang)接出(chu)，即进、排(pai)(pai)气方(fang)向(xiang)是相互(hu)垂直的。此(ci)(ci)时(shi)，排(pai)(pai)气口可以从左或右(you)两个方(fang)向(xiang)开口，除(chu)接排(pai)(pai)气管道一(yi)端外，另一(yi)端堵(du)死(si)或接旁(pang)通阀。这种(zhong)泵(beng)结(jie)(jie)构重心低，高(gao)速运转时(shi)稳定(ding)性好(hao)。一(yi)般(ban)大、中(zhong)型泵(beng)多采用(yong)此(ci)(ci)种(zhong)结(jie)(jie)构。

泵的两(liang)个转子(zi)轴(zhou)与水平面垂直安装(zhuang)(zhuang)。这种结构(gou)装(zhuang)(zhuang)配间隙(xi)容易控制，转子(zi)装(zhuang)(zhuang)配方便，泵占地(di)面积(ji)小。但泵重心较高且齿(chi)轮拆装(zhuang)(zhuang)不便，润(run)滑(hua)机(ji)构(gou)也(ye)相对(dui)复杂。

（2） 泵的(de)传动方式

真(zhen)空泵(beng)的(de)两个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)是(shi)通过(guo)一(yi)对(dui)高精(jing)度齿轮来(lai)实现其(qi)相(xiang)对(dui)同步运(yun)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)。主(zhu)(zhu)动(dong)轴(zhou)通过(guo)联(lian)轴(zhou)器与电(dian)机联(lian)接。在(zai)传动(dong)结(jie)构布(bu)置(zhi)上(shang)(shang)主(zhu)(zhu)要有以下两种(zhong)：其(qi)一(yi)是(shi)电(dian)动(dong)机与齿轮放在(zai)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)的(de)同一(yi)侧如图。从动(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)由(you)电(dian)动(dong)机端齿轮直接传过(guo)去带(dai)动(dong)，这样主(zhu)(zhu)动(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)轴(zhou)的(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形小，则(ze)两个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)之间(jian)的(de)间(jian)隙(xi)(xi)不会因主(zhu)(zhu)动(dong)轴(zhou)的(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形大而改变，故使转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)之间(jian)的(de)间(jian)隙(xi)(xi)在(zai)运(yun)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)过(guo)程中均匀。这种(zhong)传动(dong)方式的(de)最大缺点是(shi)：a.主(zhu)(zhu)动(dong)轴(zhou)上(shang)(shang)有三(san)个(ge)轴(zhou)承(cheng)，增加了泵(beng)的(de)加工和装配难度，齿轮的(de)拆装及(ji)调整(zheng)(zheng)也(ye)不便；b.整(zheng)(zheng)体结(jie)构不匀称，泵(beng)的(de)重心偏(pian)向电(dian)动(dong)机和齿轮箱一(yi)侧。

    极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”是(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)一(yi)(yi)个(ge)重(zhong)要参数(shu)，是(shi)(shi)反应(ying)泵(beng)抽(chou)气能力的(de)特性值，是(shi)(shi)与真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)相关的(de)一(yi)(yi)个(ge)数(shu)值，不同的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)可以有不同的(de)“极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”度(du)(du)。而(er)“理论真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”是(shi)(shi)理论研究(jiu)时的(de)一(yi)(yi)个(ge)概(gai)念，是(shi)(shi)排(pai)除各(ge)种(zhong)实际因素的(de)影响而(er)提炼(lian)出的(de)一(yi)(yi)种(zhong)最理想的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)容(rong)器经(jing)充分抽(chou)气后(hou)，稳定在(zai)某一(yi)(yi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)(du)，此真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)(du)称为(wei)极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)。通(tong)常(chang)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)容(rong)器须(xu)经(jing)12小时炼(lian)气，再(zai)经(jing)12小时抽(chou)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)，最后(hou)一(yi)(yi)个(ge)小时每隔10分钟测量一(yi)(yi)次，取其10次的(de)平均值为(wei)极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)值。